[实用新型]一种PECVD载板自动清洗平台有效
| 申请号： | 201520981660.2 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN205415238U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 王武鹏;李鹏飞;陈剑雨;王树林 | 申请（专利权）人： | 钧石(中国)能源有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD载板自动清洗平台，包括底座、设在底座上的支架、设在支架上的传送装置、控制装置、载板放置槽、清洗装置，载板放置槽设有定位装置和打磨电机，传送装置和控制装置连接，控制着载板放置槽和打磨电机的升降移动。本实用新型清洗效果比传统手工打磨好，打磨均匀、干净，清洗载板速度快，节省时间，提高清洗效率，采用伺服电机精确控制载板放置槽的移动，清洗精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 自动 清洗 平台 | ||
【主权项】：
一种PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述自动清洗平台包括底座、设在底座上的支架、设在支架上的传送装置、控制装置、载板放置槽、清洗装置，所述载板放置槽设有定位装置和打磨电机，所述传送装置和控制装置连接，控制着载板放置槽和打磨电机的升降移动。
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