[实用新型]一种真空镀膜设备的真空室电源穿透密封件有效
| 申请号： | 201520972551.4 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN205188434U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 王红涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳尔逊科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备的真空室电源穿透密封件，包括绝缘盖、绝缘座、安装座、电极，其特征在于，所述的绝缘盖设在绝缘座上方，绝缘座设在安装座上方；所述的绝缘盖、绝缘座和安装座分别设有螺栓孔，所述的电极穿过绝缘盖、绝缘座和安装，安装座上设有第一密封圈，绝缘座上设有第二密封圈。本实用新型的有益效果在于，能够实现电源不与真空室导通，真空不会泄露，同时加热和照明能够实现单独控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 真空 电源 穿透 密封件 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜设备的真空室电源穿透密封件，包括绝缘盖、绝缘座、安装座、电极，其特征在于，所述的绝缘盖设在绝缘座上方，绝缘座设在安装座上方；所述的绝缘盖、绝缘座和安装座分别设有螺栓孔，所述的电极穿过绝缘盖、绝缘座和安装座，安装座上设有第一密封圈，绝缘座上设有第二密封圈。
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