[实用新型]多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种占地较小且炉体冷却效果较好的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉通过在进水管上设置第一控制阀，在排水管上设置第二控制阀，排水管上连接第一引水管，第一引水管的端头连接有冷却设备，第一引水管上设置有第一水泵，冷却设备的出口连接有第二引水管，第二引水管的端头连接在炉体与第一控制阀之间的排水管上，第二引水管上设置有第三控制阀与第二水泵，该多晶硅铸锭炉的冷却方式，用水量较少，同时只需增加冷却设备、水泵、水管即可，占地较小，可以大大减小整个多晶硅铸锭炉的占地面积，同时，利用冷却设备进行冷却，可以使自来水的温度快速降低，炉体的冷却效果较好。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

多晶硅铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体(1)，炉体(1)上设置有抽气孔(2)，所述炉体(1)内设置有下托保温板(3)与保温罩(4)，保温罩(4)放置在下托保温板(3)上，保温罩(4)与下托保温板(3)共同构成保温隔热笼，所述保温罩(4)上连接有能够使保温罩(4)上下移动的升降杆(5)，所述保温隔热笼内设置有坩埚(6)、坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)、热交换平台(12)，所述石墨底板(8)放置在热交换平台(12)上，坩埚(6)放置在石墨底板(8)上，坩埚护板(7)设置在坩埚(6)外侧，侧部加热器(10)设置在坩埚护板(7)的外侧，石墨盖板(9)设置在坩埚(6)上方，顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方，所述热交换平台(12)通过石墨立柱(22)固定在炉体(1)底部，坩埚护板(7)的上端设置有尾气排放孔(13)，还包括进气管(14)，所述进气管(14)的一端与氩气源(15)相连，另一端依次穿过炉体(1)、保温罩(4)、顶部加热器(11)、石墨盖板(9)后伸入坩埚(6)内，其特征在于：所述炉体(1)的上部连接有进水管(16)，所述进水管(16)与夹层空间连通，进水管(16)上设置有第一控制阀(19)，所述炉体(1)的底部连接有排水管(23)，排水管(23)上设置有第二控制阀(24)，在炉体(1)与第二控制阀(24)之间的排水管(23)上连接有第一引水管(25)，第一引水管(25)的端头连接有冷却设备(26)，第一引水管(25)上设置有第一水泵(27)，冷却设备(26)的出口连接有第二引水管(28)，所述第二引水管(28)的端头连接在炉体(1)与第一控制阀(19)之间的排水管(23)上，第二引水管(28)上设置有第三控制阀(29)与第二水泵(30)，所述第二水泵(30)位于第三控制阀(29)与冷却设备(26)之间。