[实用新型]一种用于分子泵的变截面涡轮叶片

摘要

本实用新型提供了一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，包括：中心圆盘和多个叶齿，中心圆盘的横截面为圆环形，多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上，叶齿靠近所述中心圆盘的一端为齿根，叶齿远离中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿沿从齿根至齿端方向上的每个位置具有不同的厚度，每个叶齿沿从齿根至齿端方向上的中心截面与中心圆盘之间具有恒定的倾斜角。本实用新型一方面提高了泵在运转时转子的抗大气冲击的能力；同时增加了气体分子在泵体内运动的线速度，在转子为相同转速情况下，抽速性能有了可观的提高。

主权项

一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其特征在于：所述变截面涡轮叶片包括：中心圆盘和多个叶齿，所述中心圆盘的横截面为圆环形，所述多个叶齿均匀分布在所述中心圆盘的圆周上，所述叶齿靠近所述中心圆盘的一端为齿根，所述叶齿远离所述中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿沿从齿根至齿端方向上的每个位置具有不同的厚度，每个叶齿沿从齿根至齿端方向上的中心截面与所述中心圆盘之间具有恒定的倾斜角。