[实用新型]一种用于分子泵的涡轮静叶片组有效
申请号: | 201520963283.X | 申请日: | 2015-11-30 |
公开(公告)号: | CN205371073U | 公开(公告)日: | 2016-07-06 |
发明(设计)人: | 郑荣禧;王秀娟 | 申请(专利权)人: | 四川九天真空科技股份有限公司 |
主分类号: | F04D29/32 | 分类号: | F04D29/32;F04D19/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 637200 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于分子泵的涡轮静叶片组,包括:上下分布设置的多层涡轮静叶片,每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿,中心圆盘的横截面为圆环形,多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上,叶齿靠近中心圆盘的一端为齿根,叶齿远离中心圆盘的一端为齿端,每个叶齿具有相同的厚度,每个叶齿与中心圆盘之间具有倾斜角。本实用新型由于叶片是旋转截面,叶片在相同的长度上及空间里,表面积大大增大,分子泵工作时分子碰撞的面积增大,增长了气体分子的运动路径,分子线速度增大,大大提高抽气速率,从而有效的解决分子泵抽速问题,使得分子泵效率更高,更节能。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 分子 涡轮 叶片 | ||
【主权项】:
一种用于分子泵的涡轮静叶片组,其特征在于:所述涡轮静叶片组包括:上下分布设置的多层涡轮静叶片,每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿,所述中心圆盘的横截面为圆环形,所述多个叶齿均匀分布在所述中心圆盘的圆周上,所述叶齿靠近所述中心圆盘的一端为齿根,所述叶齿远离所述中心圆盘的一端为齿端,每个叶齿具有相同的厚度,每个叶齿与所述中心圆盘之间具有倾斜角。
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