[实用新型]一种封闭式恒温冷却研磨抛光机有效
| 申请号: | 201520926406.2 | 申请日: | 2015-11-19 |
| 公开(公告)号: | CN205184467U | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
| 发明(设计)人: | 谢德海;侯孝贤 | 申请(专利权)人: | 中科院南京耐尔思光电仪器有限公司 |
| 主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B55/00;B24B55/03 |
| 代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 崔立青 |
| 地址: | 211316 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种封闭式恒温冷却研磨抛光机,其包括抛光研磨主机,抛光研磨主机包括机架,在机架上设置有至少一个研磨单元,每个研磨单元设置有一个研磨盆,在研磨盆内设置有冷却液喷洒管,在研磨盆的下端设置有研磨盆出液口,每个研磨单元设置有防护罩,防护罩设置在研磨盆的上方,防护罩将研磨盆上部的敞口覆盖,防护罩上设置有用于观察研磨盆内部的活动门。本实用新型是在研磨盆的上方设置了防护罩,防护罩覆盖了研磨盆上部的敞口,飞溅的冷却液会撞击到防护罩上,然后沿防护罩的内壁回流到研磨盆内,然后进入到冷却液冷却系统循环使用,在减少了冷却液浪费的同时,并可有效地提高设备的生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 封闭式 恒温 冷却 研磨 抛光机 | ||
【主权项】:
一种封闭式恒温冷却研磨抛光机,其包括抛光研磨主机,抛光研磨主机包括机架,在机架上设置有至少一个研磨单元,每个研磨单元设置有一个研磨盆,在研磨盆内设置有冷却液喷洒管,在研磨盆的下端设置有研磨盆出液口,其特征在于,每个研磨单元设置有防护罩,防护罩设置在研磨盆的上方,防护罩将研磨盆上部的敞口覆盖,防护罩上设置有用于观察研磨盆内部的活动门。
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