[实用新型]一种硅片正反面色差检测装置有效
| 申请号： | 201520913872.7 | 申请日： | 2015-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN205194661U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 谢鑫;胡永涛;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片正反面色差检测装置，包括依次运送硅片的第一皮带线组件、旋转机构和第二皮带线组件；设于所述第一皮带线组件上的正面色差检测仪，所述硅片在第一皮带线组件上运送经过所述正面色差检测仪时，进行正面色差检测，并继续向后运送；以及设于所述旋转机构侧面的反面色差检测仪，所述旋转机构上固定连接用于吸取所述硅片的吸盘，通过所述旋转机构上的吸盘吸取已进行正面色差检测的硅片，并旋转第一角度将硅片送到反面色差检测仪上方停止，进行反面色差检测后，再旋转第二角度将硅片送到所述第二皮带线组件上。该硅片正反面色差检测装置通过对硅片的正反面色差进行检测，提高了硅片色差检测结果的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 正反面 色差 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片正反面色差检测装置，其特征在于，包括：依次运送硅片的第一皮带线组件、旋转机构和第二皮带线组件；设于所述第一皮带线组件上的正面色差检测仪，所述硅片在第一皮带线组件上运送经过所述正面色差检测仪时，进行正面色差检测，并继续向后运送；以及设于所述旋转机构侧面的反面色差检测仪，所述旋转机构上固定连接用于吸取所述硅片的吸盘，通过所述旋转机构上的吸盘吸取已进行正面色差检测的硅片，并旋转第一角度将硅片送到反面色差检测仪上方停止，进行反面色差检测后，再旋转第二角度将硅片送到所述第二皮带线组件上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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