[实用新型]高精度小角度旋转机构

摘要

本实用新型公开了一种高精度小角度旋转机构，旨在提供一种结构简单、紧凑，所需安装空间小；而且旋转精度高，无回程间隙，可有效提高晶圆测试精度的高精度小角度旋转机构。它包括底座及可转动设置在底座上的旋转平台,其特征是，所述底座上设有旋转轴支撑座，旋转轴支撑座上设有滑轨、轴承座及丝杆螺母机构，所述滑轨与旋转平台的旋转轴相垂直，滑轨上设有的滑块；所述丝杆螺母机构的丝杆通过安装轴承可转动的设置在轴承座上，且该丝杆与滑轨相平行，丝杆螺母机构的丝杆螺母固定连接在滑块上，所述旋转轴支撑座上设有用于驱动丝杆转动的驱动电机。

主权项

一种高精度小角度旋转机构，包括底座及可转动设置在底座上的旋转平台,其特征是，所述底座上设有旋转轴支撑座，旋转轴支撑座上设有滑轨、轴承座及丝杆螺母机构，所述滑轨与旋转平台的旋转轴相垂直，滑轨上设有的滑块；所述丝杆螺母机构的丝杆通过安装轴承可转动的设置在轴承座上，且该丝杆与滑轨相平行，丝杆螺母机构的丝杆螺母固定连接在滑块上，所述旋转轴支撑座上设有用于驱动丝杆转动的驱动电机；所述旋转平台与滑块之间设有拉紧式凸轮导向连接机构，该拉紧式凸轮导向连接机构包括固定设置在旋转平台上的旋转固定条，可转动设置在旋转固定条上的导向轮及可使导向轮紧靠在滑块侧面上的拉簧，所述导向轮的旋转轴与旋转平台的旋转轴相平行，所述拉簧的一端与旋转固定条相连接，另一端与滑块相连接。