[实用新型]用于半导体工艺的流体控制装置

摘要

一种用于半导体工艺的流体控制装置，包含有多个前连通件、一输入件、一操作器、一第一开关、一第二开关、多个后连通件、一定量器、一第三开关、一输出件以及多个卡扣部，该些前连通件与该些后连通件藉由该些卡扣部彼此固接并形成多条管路，该输入件、该操作器、该第一开关、该第二开关设置于该些前连通件上并与该些管路连通，该第三开关与该输出件设置于该些后连通件上并与该些管路连通，该定量器连接该些前连通件与该些后连通件，藉由该些前连通件与该些后连通件的设置，可以降低机构复杂度，提高组装效率以及降低生产成本。

主权项

一种用于半导体工艺的流体控制装置，其特征在于，包含有：一前承载件，具有二分别设置于该前承载件两端的前阻挡部；多个设置于该前承载件上并位于该二前阻挡部之间的前连通件，该些前连通件彼此相连并依序形成一具有一第一入口以及一第一出口的第一管路、一具有一第二入口以及一第二出口的第二管路、一具有一第三入口、一第三副入口以及一第三出口的第三管路以及一具有一附加入口以及一附加出口的附加管路；一连通于该第一入口的输入件；一设置于该输入件的一侧并连通于该第一出口与该第二入口的操作器；一设置于该操作器远离该输入件的一侧并连通于该第二出口与该第三入口的第一开关；一设置于该第一开关远离该操作器并的一侧并连通于该第三副入口与该附加出口的第二开关；一后承载件，具有二分别设置于该后承载件两端的后阻挡部；多个设置于该后承载件上并位于该二后阻挡部之间的后连通件，该些后连通件彼此相连并依序形成一具有一第四入口以及一第四出口的第四管路、一具有一第五入口以及一第五出口的第五管路；一设置于该第二开关远离该第一开关的一侧并连通于该第三出口与该第四入口的定量器；一设置于该定量器远离该第二开关的一侧并连通于该第四出口与该第五入口的第三开关；一设置于该第三开关远离该定量器的一侧并连通于该第五出口的输出件；一设置于该前承载件并使该些前连通件朝该定量器挤压的前挤压件；一设置于该后承载件并使该些后连通件朝该定量器挤压的后挤压件；以及多个分别设置于该些前连通件间与该些后连通件间，使该些前连通件与该些后连通件固接的卡扣部。