[实用新型]模块化的连续沉积系统

摘要

本实用新型公开了一种模块化的连续沉积系统。所述连续沉积系统包括第一处理模块、隔离模块、第二处理模块以及传送机构。其中所述第一处理模块、隔离模块、第二处理模块之间通过真空密封法兰连接。本实用新型可实现多种沉积技术的连续处理，如第一处理模块采用溅射沉积技术，第二处理模块采用化学水浴沉积技术。模块化设计使得该系统具有高度的可扩展性，且具有灵活的工艺，不同模块可采用不同的处理工艺，这不仅可充分利用各工艺技术的工艺窗口，而且还不会导致不同技术之间的干扰，最终实现了多种沉积技术的连续处理，大大提高了多层薄膜沉积时的生产效率。

主权项

一种模块化的连续沉积系统，其特征在于，包括第一处理模块、隔离模块、第二处理模块以及传送机构，其中所述第一处理模块包括：第一处理室以及用于沉积第一材料在卷材衬底上的第一处理源；所述隔离模块包括：隔离室以及位于隔离室内的一个或多个隔离壁，所述隔离壁将所述隔离室分隔为多个隔间，每个隔离壁包括一个开口以允许卷材衬底通过；所述第二处理模块包括：第二处理室以及用于沉积第二材料在卷材衬底上的第二处理源；所述传送机构用于移动所述卷材衬底通过所述第一处理模块、所述隔离模块和所述第二处理模块。