[实用新型]一种多线切割机用切削液循环装置

摘要

本实用新型涉及一种多线切割机用切削液循环装置，解决了现有技术中切削液循环系统的结构不合理，切削液参与切割时会产生大量泡沫，进而影响硅片质量的不足。本实用新型提供的一种多线切割机用切削液循环装置，水箱上开设有溢流口，溢流口经过溢流管与过滤机相通，过滤机经过回水管与储水桶相通，在溢流管上串接有第一沉淀桶、回水管上串接有第二沉淀桶；溢流口溢出的切削液先经第一沉淀桶沉淀，然后再经过滤机过滤，过滤机过滤后的切削液再经第二沉淀桶沉淀，最后再进入储水桶内进行循环使用，切削液经沉淀、过滤、再沉淀后具有良好的水质，从而使得切削液循环使用时不会产生大量的泡沫，减小了切削液循环系统的用水量。

主权项

一种多线切割机用切削液循环装置，其特征在于：包括储水桶(1)，所述储水桶(1)通过供水管(2)向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱(3)，所述供水管(2)与水箱(3)相通，所述水箱(3)上开设有溢流口，该多线切割机用切削液循环装置还包括过滤机(4)，每个水箱(3)上的溢流口均通过溢流管(5)将切削液送至过滤机(4)，所述过滤机(4)与储水桶(1)之间通过回水管(6)相通，所述溢流管(5)上串接有第一沉淀桶(7)，所述回水管(6)上串接有第二沉淀桶(8)，所述储水桶(1)上连接有两个供水泵(9)，两个供水泵(9)并联后均向供水管(2)供水，该多线切割机用切削液循环装置还包括补水桶(10)，所述补水桶(10)与储水桶(1)之间通过补水管(11)相通，所述补水管(11)上连接有药水桶(12)，所述补水管(11)上还串接有控制补水桶(10)是否向储水桶(1)补水的第一控制阀(13)，所述药水桶(12)与补水管(11)之间串接有第二控制阀(14)。