[实用新型]改良微纳米尺度力学性能测试仪

摘要

本实用新型公开了一种改良微纳米尺度力学性能测试仪，属于力学性能检测仪器领域。本实用新型包括机架、分列于机架两侧并分别通过支架支撑的压痕制备装置和压痕扫描装置、位移工作台，位移工作台设置于机架上，位移工作台上设有升降机构，升降机构上设有旋转机构，旋转机构上设有用于放置样品的工作台。本实用新型将压痕制备装置和压痕扫描装置与机架位置相对固定，无需重复定位，通过升降机构、XY方向位移机构和旋转机构实现对样品的快速检测和分析，本实用新型无需人工调整，整个过程自动完成。本实用新型增加了旋转机构可以方便压痕制备装置和压痕扫描装置两个同时进行工作，从而提高压痕制备装置和压痕扫描装置的工作效率。

主权项

改良微纳米尺度力学性能测试仪，包括机架(1)、分列于机架(1)两侧并分别通过支架支撑的压痕制备装置(6)和压痕扫描装置(7)、X位移驱动机构和Y位移驱动机构交叉层叠组成的位移工作台(2)，其特征在于：所述的位移工作台(2)设置于机架(1)上，位移工作台(2)上设有升降机构(3)，升降机构(3)上设有旋转机构(4)，旋转机构(4)上设有用于放置样品的工作台(5)。