[实用新型]一种低成本曝光机晒架有效
申请号: | 201520802306.9 | 申请日: | 2015-10-19 |
公开(公告)号: | CN205121157U | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 周延;蔡长韬;杨韬;古小平;马小茜 | 申请(专利权)人: | 西华大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610039 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种低成本曝光机晒架,涉及到曝光机技术领域。解决现有曝光机晒架结构复杂,加工制造成本高,容易出现微小缝隙,从而无法完成抽真空甚至整个晒架报废的问题,包括有铰接的上层晒架与下层晒架,上下层晒架之间设有气弹簧,使上层晒架与下层晒架能活动的打开与闭合,上层晒架由上玻璃,四根固定在上玻璃顶面四个角落的弹簧和上框架组成,下层晒架由下框架与固定在下框架中心的下玻璃组成,上下层晒架闭合后,上层晒架上的弹簧提供的弹力,会使上玻璃紧压下玻璃,此时上下玻璃为稳定夹紧状态,本实用新型使用机械式夹紧方式代替了抽真空夹紧,避免了抽真空失效或者漏气的情况,能保证在曝光过程中,底片与镀铜板在晒架内的位置保持不变,且使晒架的加工制造成本大大降低,零件替换以及维修更加方便,操作更加简洁。 | ||
搜索关键词: | 一种 低成本 曝光 机晒架 | ||
【主权项】:
一种低成本曝光机晒架,其特征在于:包括有铰链连接的上层晒架与下层晒架,上下层晒架之间设有气弹簧,使上层晒架与下层晒架能活动的打开与闭合,上层晒架由上玻璃,四根固定在上玻璃顶面四个角落的弹簧和上框架组成,下层晒架由下框架与固定在下框架中心的下玻璃组成,上下层晒架闭合后,上下玻璃也对应闭合。
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