[实用新型]一种微纳操作装置有效
| 申请号： | 201520762877.4 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN205021591U | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 闫允杰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J9/12;B25J13/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微纳操作装置技术领域，特别涉及一种体积小、精度高、运动范围大的微纳操作装置。该装置通过X向压电陶瓷线性马达、Z向压电陶瓷线性马达和Y向压电陶瓷旋转马达的结合，可实现纳米级精度、纳米级到厘米级大范围的微纳操作，实现三自由度单独或同时操控，精度高，解决了微纳操作装置操作范围小、适用性单一的问题，可以用于电子显微镜、光学显微镜等的精细操作，进行对准、注入、施加电信号、切割等微纳操作，且装置结构简单、体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 操作 装置 | ||
【主权项】：
一种微纳操作装置，其特征在于，该装置的X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)，X向压电陶瓷线性马达(6)，第三连接件(7)，Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)，Z向压电陶瓷线性马达(9)，第四连接件(10)，Y向压电陶瓷旋转马达旋转盘(11)、Y向压电陶瓷旋转马达(12)和固定件(13)从上到下依次布置，且相邻部件之间为刚性连接，延长杆(3)的一端通过第二连接件(4)与X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)刚性连接，操作器(1)通过第一连接件(2)与延长杆(3)的另一端刚性连接；操作器(1)上连接操作器电源(20)；X向压电陶瓷线性马达(6)和X向驱动电源(17)之间连接X向压电陶瓷线性马达控制器(16)；Z向压电陶瓷线性马达(9)和Z向驱动电源(18)之间连接Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)；Y向压电陶瓷旋转马达(12)和Y向驱动电源(19)之间连接Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)；X向压电陶瓷线性马达控制器(16)、Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)和Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)分别连接至计算机控制系统(21)。
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