[实用新型]三甲基镓尾气处理装置以及制备系统有效

专利信息
申请号: 201520757154.5 申请日: 2015-09-28
公开(公告)号: CN205035309U 公开(公告)日: 2016-02-17
发明(设计)人: 吴伟;谢贤清;张志伟;马玉峰;江建峰 申请(专利权)人: 江西佳因光电材料有限公司
主分类号: C07F5/00 分类号: C07F5/00
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 邝圆晖;黄志兴
地址: 330013 江西省南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种三甲基镓尾气处理装置以及制备系统,其中,该尾气处理装置包括压力调节装置(5)、冷却装置(1)和内置于该冷却装置(1)中的闭合回收容器(2),回收容器(2)包括进气口、出气口以及出料口,所述进气口连接有带进气阀(31)的尾气进气管(3),出气口连接有带排气阀(41)的尾气出气管(4),尾气出气管(4)连接于压力调节装置(5),冷却装置(1)用于将回收容器(2)的温度冷却为小于三甲基镓的熔点,所述回收容器(2)还包括通过所述出料口插入到该回收容器(2)底部的回收管(6)。通过采用低温回收容器可以提高收集三甲基镓的效率,减少产品的浪费,节省了生产成本,并且可以防止尾气污染环境。
搜索关键词: 甲基 尾气 处理 装置 以及 制备 系统
【主权项】:
一种三甲基镓尾气处理装置,其特征在于,该尾气处理装置包括压力调节装置(5)、冷却装置(1)和内置于该冷却装置(1)中的闭合回收容器(2),所述回收容器(2)包括进气口、出气口以及出料口,所述进气口连接有带进气阀(31)的尾气进气管(3),所述出气口连接有带排气阀(41)的尾气出气管(4),所述尾气出气管(4)连接于所述压力调节装置(5),其中所述冷却装置(1)用于将所述回收容器(2)的温度冷却为小于三甲基镓的熔点,所述回收容器(2)还包括通过所述出料口插入到该回收容器(2)底部的回收管(6)。
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