[实用新型]一种星形探针定位装置有效
申请号: | 201520733518.6 | 申请日: | 2015-09-21 |
公开(公告)号: | CN205192455U | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
发明(设计)人: | 马娜娜;付西红;周美英 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 倪金荣 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种星形探针定位装置,包括底板和垂直固定在底板上的立杆,底板上设有定位孔;立杆上设有导轨,导轨上限位有滑块,滑块能够沿立杆的轴向滑动;滑块上设有定位头,定位头与底板平行,定位头用于限位在待定位探针组件磁性吸盘定位槽的中心处;所述定位孔用于安装待定位探针组件的探针座,探针座安装在定位孔时,待定位探针组件的连接杆与底板垂直,定位头与探针座的X轴或Y轴垂直。本实用新型结构简单,定位方法快捷,减少人为测量误差,进一步提高了探针组件的测量效率和应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 星形 探针 定位 装置 | ||
【主权项】:
一种星形探针定位装置,其特征在于:包括底板和垂直固定在底板上的立杆,底板上设有定位孔;立杆上设有导轨,导轨上限位有滑块,滑块能够沿立杆的轴向滑动;滑块上设有定位头,定位头与底板平行,定位头用于限位在待定位探针组件磁性吸盘定位槽的中心处;所述定位孔用于安装待定位探针组件的探针座,探针座安装在定位孔时,待定位探针组件的连接杆与底板垂直,定位头与探针座的X轴或Y轴垂直。
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