[实用新型]直通式真空阀

摘要

本实用新型提供一种用于真空腔体的直通式真空阀，包含：阀座外壳体、球形阀体及转动机构，阀座外壳体包括本体、真空腔连接部及抽真空装置连接部，真空腔连接部与抽真空装置连接部设置连通于本体的相对两侧，球形阀体具有中央贯穿通道，设置于本体的球形容置空间中，可透过转动机构而轴向转动地在连通位置或关闭位置之间切换，于连通位置，真空腔连接部、抽真空装置连接部及中央贯穿通道连通形成一直通式的抽气路径，于关闭位置，球形阀体的球形壁面阻断该抽气路径。

主权项

一种用于真空腔体的直通式真空阀，其特征在于，包含：阀座外壳体，包括本体、真空腔连接部及抽真空装置连接部，所述的本体内部具有一球形容置空间，所述的真空腔连接部与所述的抽真空装置连接部设置连通于所述的本体的球形容置空间的相对两侧，所述的真空腔连接部连接于一真空腔体，所述的抽真空装置连接部连接于一抽真空装置；球形阀体，所述的球形阀体为球形，且具有贯穿所述的球形的一中央贯穿通道，所述的球形阀体可轴向转动地设置于所述的球形容置空间中，而相对于所述的阀座外壳体在一连通位置或一关闭位置之间轴向转动，其中于所述的连通位置，所述的球形阀体经轴向转动而使所述的中央贯穿通道的两端开口分别对应连通所述的真空腔连接部与所述的抽真空装置连接部，而由所述的真空腔连接部、所述的抽真空装置连接部及所述的中央贯穿通道连通形成一直通式的抽气路径，以及于所述的关闭位置，所述的球形阀体的球形壁面对应于所述的真空腔连接部与所述的抽真空装置连接部，使所述的真空腔连接部与所述的抽真空装置连接部相互不连通，而阻断所述的抽气路径；以及转动机构，连接所述的球形阀体且延伸至所述的本体外，所述的转动机构经设置而供带动所述的球形阀体相对所述的阀座外壳体而轴向转动。