[实用新型]一种集成电路光刻涂胶工艺HMDS烘箱有效
| 申请号： | 201520545819.6 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN204856035U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 安小敏 | 申请（专利权）人： | 合肥市真萍电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子技术领域，具体涉及一种集成电路光刻涂胶工艺HMDS烘箱，包括机外壳、箱门、防弹双层玻璃门和电控系统，所述箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，所述电控系统包括微电脑智能控温仪、智能化触摸屏控制系统和低液报警装置，钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然，微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠，智能化触摸屏控制系统可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 光刻 涂胶 工艺 hmds 烘箱 | ||
【主权项】：
一种集成电路光刻涂胶工艺HMDS烘箱，其特征在于：包括机外壳、箱门、防弹双层玻璃门和电控系统，所述箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，所述电控系统包括微电脑智能控温仪、智能化触摸屏控制系统和低液报警装置。
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