[实用新型]真空磁控溅射金属膜层设备的档板结构有效
| 申请号： | 201520530731.7 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN204849013U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 林孟君 | 申请（专利权）人： | 华泰（桐乡）玻璃明镜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 郑永康 |
| 地址： | 314500 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种真空磁控溅射金属膜层设备的档板结构，主要包括档板、螺杆及马达，本实用新型是于真空磁控溅射金属膜层设备中装置一个以上，此档板的移动可于真空磁控溅射金属膜层生产过程中产生侧向厚度改变的功能，本实用新型借由电源线通电后让马达转动螺杆来控制档板的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 磁控溅射 金属膜 设备 档板 结构 | ||
【主权项】：
一种真空磁控溅射金属膜层设备的档板结构，其特征在于，包括：一档板，位于真空磁控溅射金属膜层设备中，借由螺杆来移动；及一马达，电源线通电后转动螺杆移动档板；一螺杆，连接马达移动档板；及一电源线，供应马达电源。
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