[实用新型]双腔压电气体泵

摘要

本实用新型涉及一种双腔压电气体泵，包括外壳、进气阀和出气阀，外壳包括上壳和下壳，进气阀包括与外界连通的上进气阀和下进气阀，出气阀包括上出气阀和下出气阀，上出气阀与上出气管道连通，下出气阀与下出气管道连通，上壳和下壳之间设有双面压电陶瓷振子，双面压电陶瓷振子与上壳和下壳之间分别设有密封圈，双面压电陶瓷振子与上进气阀、上出气阀及上壳之间形成密封的上气腔，双面压电陶瓷振子与下进气阀、下出气阀及下壳之间形成密封的下气腔，双面压电陶瓷振子的一端设有电极，电极与电源线连接。本实用新型的气体泵使用单振子驱动双腔结构，气量和压力大幅提高到两倍以上，更轻薄，功耗更低，噪声低，响应快，抗干扰。

主权项

双腔压电气体泵，包括外壳、进气阀和出气阀，其特征在于，所述外壳包括上壳和下壳，所述上壳和下壳通过固定柱连接，所述进气阀包括与外界连通的上进气阀和下进气阀，所述出气阀包括上出气阀和下出气阀，所述上进气阀和上出气阀分别固定于上壳上，所述下进气阀和下出气阀分别固定于下壳上，所述上出气阀与上出气管道连通，所述下出气阀与下出气管道连通，所述上壳和下壳之间设有双面压电陶瓷振子，双面压电陶瓷振子与上壳和下壳之间分别设有密封圈，所述双面压电陶瓷振子与上进气阀、上出气阀及上壳之间形成密封的上气腔，所述双面压电陶瓷振子与下进气阀、下出气阀及下壳之间形成密封的下气腔，所述双面压电陶瓷振子的一端设有电极，所述电极与电源线连接。