[实用新型]旋转式圆柱形磁控靶有效
| 申请号： | 201520490462.6 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204779789U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 慈连鳌 | 申请（专利权）人： | 沈阳腾鳌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110101 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种旋转式圆柱形磁控靶，具有圆柱形靶材和空心双轴磁流体，圆柱形靶材一端安装在空心双轴磁流体的外轴上，圆柱形靶材另一端设有封盖；圆柱形靶材内部设有极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件，极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件一端安装在空心双轴磁流体的内轴上，另一端固定在封盖上，空心双轴磁流体的外轴与电机通过传动装置转动连接；空心双轴磁流体的内轴固定在设备工作台的台板上。本实用新型具有膜厚均匀、性能稳定和靶材利用率高(可达到75％以上)等特点，体积小，适合实验室使用、适合单人操作，提高了沉积薄膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 圆柱形 磁控靶 | ||
【主权项】：
一种旋转式圆柱形磁控靶，其特征在于：具有圆柱形靶材和空心双轴磁流体，圆柱形靶材一端安装在空心双轴磁流体的外轴上，圆柱形靶材另一端设有封盖；圆柱形靶材内部设有极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件，极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件一端安装在空心双轴磁流体的内轴上，另一端固定在封盖上，空心双轴磁流体的外轴与电机通过传动装置转动连接；空心双轴磁流体的内轴固定在设备工作台的台板上。
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