[实用新型]一种真空溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种真空溅射镀膜装置，包括真空腔、阳极、进气口、传递辊、阴极靶材和阴极，所述真空腔由上半部的U形阴极盖板和下半部的U形阳极板框连接而成，所述阴极盖板的内侧通过螺栓安装有连接钢板，连接钢板的内侧焊接有不锈钢网，所述真空腔的底部安装有多个传递辊，传递辊之间固定有固定板，固定板通过固定板上的固定孔固定在阳极板框的底部，所述固定板上通过紧固件固定有绝缘块，所述绝缘块的两侧通过紧固件固定有侧板，绝缘块的上方通过紧固件固定有基板，所述真空腔的内部设有多组左右对称的进气口。该真空镀膜装置不仅减少了溅射物质的掉落，保证了绝缘性，而且可以适应不同的工艺要求。

主权项

一种真空溅射镀膜装置，包括真空腔(1)、阳极(6)、进气口(8)、传递辊(9)、阴极靶材(17)和阴极(18)，其特征在于：所述真空腔(1)由上半部的U形阴极盖板(101)和下半部的U形阳极板框(102)连接而成，且连接处设有密封件(4)，所述阴极盖板(101)的内侧通过螺栓安装有连接钢板(2)，连接钢板(2)的内侧焊接有不锈钢网(3)，所述阴极盖板(101)内设有阴极(18)，所述阴极(18)与阴极电源(19)连接，所述阴极(18)的的下方设有阴极靶材(17)，所述阳极板框(102)的两侧分别设有入料口(7)与出料口(16)，入料口(7)与出料口(16)的上方各设有一个阳极(6)，所述阳极(6)连有阳极电源(5)，所述真空腔(1)的底部安装有多个传递辊(9)，传递辊(9)之间固定有固定板(10)，固定板(10)通过固定板上的固定孔(12)固定在阳极板框(102)的底部，所述固定板(10)上通过紧固件(11)固定有绝缘块(14)，所述绝缘块(14)的两侧通过紧固件(11)固定有侧板(13)，绝缘块(14)的上方通过紧固件(11)固定有基板(15)，所述真空腔(1)的内部设有多个进气口(8)。