[实用新型]一种太阳能电池干法制绒工艺用的反应腔的腔体结构

摘要

本实用新型涉及太阳能电池片制造装备、等离子刻蚀、真空反应腔技术领域，尤其是一种太阳能电池干法制绒工艺用的反应腔的腔体结构。腔体主体由多块不锈钢板材拼装焊接而成，不锈钢板材的表面喷镀特氟龙涂层，特氟龙涂层表面镶嵌可拆卸的铝合金内衬铠装板。特氟龙涂层为PTFE，PFA,或FEP材料。不锈钢板材为经过喷砂处理的不锈钢。铝合金内衬铠装板为铝板或表面经过深度氧化处理的内衬铠装板。本实用新型降低了加工难度，减少交工费用；在承受大型腔体的真空压力下变形小；拆装方便，可有效解决反应腔与门阀和其他腔体联结困难的问题；铝合金内衬铠装板具有耐化学腐蚀，能有效阻挡高能粒子对涂层的轰击，并且不会对硅片造成金属离子污染。

主权项

一种太阳能电池干法制绒工艺用的反应腔的腔体结构，其特征是，该腔体主体由多块不锈钢板材拼装焊接而成，不锈钢板材的表面喷镀特氟龙涂层，特氟龙涂层表面镶嵌可拆卸的铝合金内衬铠装板。