[实用新型]基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统

摘要

本实用新型公开了一种基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统。在OCT系统中，使用线聚焦光照明和并行探测，利用OCT成像获得的复解析信号，分析玻璃界面处沿深度方向的复解析信号与标准单一反射界面所产生的复解析信号的差异大小来划定玻璃表面缺陷核心的边界，利用OCT成像获得的玻璃表面的复解析反射信号的相位重构高精度的玻璃表面形貌图，通过比对玻璃表面缺陷核心边界图与玻璃表面形貌图，实现真缺陷和伪缺陷的识别。本实用新型可以实现高分辨率、高准确率的真伪缺陷识别，可以在有尘生产环境中实时检测玻璃缺陷而不会因灰尘的干扰造成误判。

主权项

 基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统，其特征在于：该系统包括：宽带光源，光束整形模块，用于接收所述光源发出的光，并输出整形光束，分束器，用于将所述整形光束分成第一光束和第二光束，参考臂模块，用于将所述第一光束聚焦在参考反射镜上，并使所述参考反射镜反射的光返回所述分束器，样品臂模块，用于将所述第二光束聚焦在玻璃上，并使所述玻璃反射的光返回所述分束器，其中，所述参考反射镜反射的光和所述玻璃反射的光形成干涉光，成像光谱仪模块，用于接收所述干涉光，形成干涉光谱信号并进行光电转换，以及数据采集及处理模块，用于接收所述光电转换的干涉光谱信号；边界图单元，用于根据玻璃界面处沿深度方向的干涉复解析信号与标准单一反射界面所产生的干涉复解析信号的差异，确定玻璃缺陷的边界图，形貌图单元，用于根据玻璃的干涉复解析信号的相位重构玻璃表面形貌图，识别单元，用于对比玻璃缺陷的边界图和玻璃表面形貌图，从而识别玻璃缺陷是真缺陷或者伪缺陷。