[实用新型]人造三氧化二铝棒高压提纯装置有效

专利信息
申请号: 201520444508.0 申请日: 2015-06-26
公开(公告)号: CN204706580U 公开(公告)日: 2015-10-14
发明(设计)人: 赵风雨 申请(专利权)人: 赵风雨
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;C30B25/18;C30B29/40
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 476415 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及铝棒提纯技术领域,具体涉及人造三氧化二铝棒高压提纯装置。所述的炉室的内部设置有铝棒,铝棒的两端设置有蒸镀金属电极,蒸镀金属电极通过导线连接到高压电源上,且蒸镀金属电极与高压电源之间设置有电流表;所述的炉室的内部设置有温度传感器,温度传感器与外置的检测装置连接。它提高GaN基器件发光效率,大大降低了人造三氧化二铝棒蚀隧道密度,提高LED亮度10%以上,减少蓝宝石衬底腐蚀隧道密度≤50条/Cm2。
搜索关键词: 人造 氧化 二铝棒 高压 提纯 装置
【主权项】:
人造三氧化二铝棒高压提纯装置,其特征在于:它包含炉室(1)、铝棒(2)、蒸镀金属电极(3)、高压电源(4)、电流表(5)、温度传感器(6)、检测装置(7);所述的炉室(1)的内部设置有铝棒(2),铝棒(2)的两端设置有蒸镀金属电极(3),蒸镀金属电极(3)通过导线导线连接到高压电源(4)上,且蒸镀金属电极(3)与高压电源(4)之间设置有电流表(5);所述的炉室(1)的内部设置有温度传感器(6),温度传感器(6)与外置的检测装置(7)连接。
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