[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201520439559.4 | 申请日： | 2015-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN204993854U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 陈虎;王凯 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括第一线路板、与所述第一线路板相隔一定间距的第二线路板、位于第一线路板与第二线路板之间并且与第一线路板和第二线路板形成内腔的框架以及置于所述内腔中的ASIC芯片和设有背腔的MEMS芯片，所述框架设有贯通的金属化通孔，所述第一线路板与所述第二线路板通过所述金属化通孔电连接，所述框架的内表面依次设有金属层和绝缘层，所述金属层位于所述框架的内表面和绝缘层之间。本实用新型的MEMS麦克风可以提高产品的性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其包括第一线路板、与所述第一线路板相隔一定间距的第二线路板、位于第一线路板与第二线路板之间并且与第一线路板和第二线路板形成内腔的框架以及置于所述内腔中的ASIC芯片和设有背腔的MEMS芯片，其特征在于：所述框架设有贯通的金属化通孔，所述第一线路板与所述第二线路板通过所述金属化通孔电连接，所述框架的内表面依次设有金属层和绝缘层，所述金属层位于所述框架的内表面和绝缘层之间。
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