[实用新型]一种微通道板分辨力的测量装置

摘要

本实用新型公开了一种微通道板分辨力的测量装置，主要用于微通道板生产厂家和用户测量其分辨力。主要技术方案是：装置结构，在真空腔内，配合安装一个夹具，真空腔的上盖有一个观察窗，在观察窗的上部安装有光学镜头、CCD摄像机，CCD摄像机与计算机相连接，真空腔的下部连接真空泵，通过引线柱和导线与高压电源相连。本实用新型通过试用证明：填补了厂家和用户对微通道板分辨力无法测量的空白，从根本上消除了因微通道板分辨力达不到要求本实用新型导致成批的微光像增强器等有关产品报废的现象，达到有效地提高和保证了微通道板的质量，适应现代化生产的需求。

主权项

一种微通道板分辨力的测量装置，其特征在于：装置总体结构，在真空腔（6）内，放置一个绝缘座（13），绝缘座上配合安装一个夹具（12），真空腔的上盖（7）有一个观察窗（11），在观察窗的上部通过支架安装有光学镜头（10）、CCD摄像机（9），CCD摄像机与计算机（8）相连接，真空腔（6）的左下部连接真空规（15）、真空阀门（14）、涡轮分子泵（16）、机械泵（17），真空腔（6）的右下部装有引线柱（19），通过导线与高压电源（18）相连。