[实用新型]镀膜腔室检测装置有效
| 申请号： | 201520431934.0 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN204807115U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 贺强 | 申请（专利权）人： | 中建材（内江）玻璃高新技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 641200 四川省内*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了镀膜腔室检测装置，其包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收发射装置对射过来的光源的接收装置；接收装置包括固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在镀膜腔室内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构；发射装置固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板固定安装在密封结构上的光电对射光源；发射装置的密封结构与接收装置的密封结构具有相同的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 检测 装置 | ||
【主权项】：
镀膜腔室检测装置，其特征在于：包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收所述发射装置对射过来的光源的接收装置；所述接收装置包括固定安装在所述镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在所述镀膜腔室内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构； 所述发射装置固定安装在所述镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板固定安装在所述密封结构上的光电对射光源；所述发射装置的密封结构与所述接收装置的密封结构具有相同的结构。
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