[实用新型]一种蓝宝石双面研磨设备有效

专利信息
申请号: 201520421674.9 申请日: 2015-06-17
公开(公告)号: CN204843822U 公开(公告)日: 2015-12-09
发明(设计)人: 陈子荣;王海彤;强国;佘卫东;周俊 申请(专利权)人: 铜陵市琨鹏光电科技有限公司
主分类号: B24B37/08 分类号: B24B37/08;B24B57/02
代理公司: 安徽信拓律师事务所 34117 代理人: 鞠翔
地址: 244000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种蓝宝石双面研磨设备,属于蓝宝石研磨技术领域,包括内转动轴、外转动轴、上研磨盘、下研磨盘、研磨液输入软管和支撑架;所述内转动轴上带有外齿轮,外转动轴上带有内齿轮,内转动轴与外转动轴通过内外齿轮卡接;外转动轴上通过柱销连接有下研磨盘,下研磨盘上设有上研磨盘,上下研磨盘之间安装有支撑架,支撑架上设置有衬底晶片并连接研磨液输入软管。本实用新型的有益效果是:为了使研磨的晶片表面的高平整度,需要使其运动轨迹复杂化(尽量不重复),通过改变内转动轴和外转动轴的运动参数,获得不同的支撑架运动轨迹,同时使得被加工的晶片获得不同的运动轨迹;加工时间短,效果更显著。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 双面 研磨 设备
【主权项】:
一种蓝宝石双面研磨设备,包括内转动轴、外转动轴、上研磨盘、下研磨盘、研磨液输入软管和支撑架;其特征在于:所述内转动轴上带有外齿轮,外转动轴上带有内齿轮,内转动轴与外转动轴通过内外齿轮卡接;外转动轴上通过柱销连接有下研磨盘,下研磨盘上设有上研磨盘,上下研磨盘之间安装有支撑架,支撑架上设置有衬底晶片并连接研磨液输入软管。
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