[实用新型]一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构有效
| 申请号： | 201520417700.0 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN204933902U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 李喜玲;郭党委 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构，包括一凸型的真空吸附盘，所述吸附盘的上端面直径为9mm，且吸附盘的上端面中心有一个镂空的真空吸附孔，以及与真空吸附孔相连的四条凹槽，所述吸附盘中间直径为40mm；所述吸附盘最下端设有一个镂空的圆柱体，所述真空吸附孔与真空吸附凹槽相连通，所述镂空圆柱体与真空吸附空相连通；本实用新型避免了甩胶时小片子粘大片子带来的表面不平整，而引起的光刻胶厚度不均匀，进而影响曝光精度；也避免了涂完胶小片不好取的弊端；避免了电机的损坏；为小片涂胶带来了极大的便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 甩胶机 吸附 较小 样品 真空 盘结 | ||
【主权项】：
一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构，包括一凸型的真空吸附盘，所述吸附盘的上端面直径为9mm，且吸附盘的上端面中心有一个镂空的真空吸附孔，以及与真空吸附孔相连的四条凹槽，所述吸附盘中间直径为40mm；所述吸附盘最下端设有一个镂空的圆柱体，所述真空吸附孔与真空吸附凹槽相连通，所述镂空圆柱体与真空吸附空相连通。
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