[实用新型]硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装有效
| 申请号： | 201520401387.1 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN204676146U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 王忠明;郑广扣;陈勇 | 申请（专利权）人： | 科瑞自动化技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，包含导轨以及位于其上的夹具支座，导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。利用磁性同性相斥的原理产生的推力高于地心引力，使工装平稳地悬浮在流水线轨道上方约3mm，通过控制工装及流水线的磁力大小，使工装运行平稳。磁悬浮原理，改变原有机械导轨安装方式，使夹持工装脱离基座进行流水作业，减少换型时间，减少机械摩擦而产生的微小颗粒而污染镀膜工艺所需的真空环境，从而提高产品的合格率及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硬盘 盘片 真空 溅射 镀膜 夹持 工装 | ||
【主权项】：
硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其特征在于：包含导轨以及位于其上的夹具支座，所述导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，所述夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。
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