[实用新型]气相打印设备

摘要

气相打印设备由真空系统(1)、高频及直流电源系统(2)、打印系统(3)、卷绕输送系统(4)、气体原料供应系统(5)、工艺控制系统(6)组成，是应用高频等离子体化学气相沉积技术和程序扫描打印技术，在常温、真空密闭金属容器中，利用活动电极及其控制的等离子体化学沉积反应作为打印机扫描器件进行扫描，在物体表层定向生成类金刚石薄膜沉积物构成图文或制造3D产品的一种新型打印技术与设备。该设备除可应用于银行、证券特种印刷业务之外，还可以作为通用技术应用于产品防伪、各种古文物表面保护、信息存储行业，以及光学器件、集成电路、高能薄膜电容器、光伏电池等3D产品制造领域。它是化学气相沉积技术和程序扫描打印技术交叉所形成的全新技术领域。

主权项

气相打印设备，由真空系统(1)、高频及直流电源系统(2)、打印系统(3)、卷绕输送系统(4)、气体原料供应系统(5)、工艺控制系统(6)组成，其特征是真空系统(1)由密闭圆柱体形金属容器真空室(7)、安装在真空室(7)外的真空泵(8)、安装在真空室(7)内的真空传感器(9)、安装有可视窗口(11)、进料门转轴(12)的进料门(10)构成；高频及直流电源系统(2)由高频电源发生器(13)、直流电源发生器(14)、功率表、电压表、电流表、导线(15)、金属容器真空室(7)接地线(16)构成；打印系统(3)由安装在真空室(7)内的打印机(17)、安装在打印机(17)上的活动电极(18)、活动电极(18)下方的平板固定电极(19)、覆盖在平板固定电极(19)表面上的镂空遮挡模片(20)、活动电极(18)与平板固定电极(19)组成的等离子体电场(21)、打印载体(32)表层的类金刚石沉积物图文(31)构成；卷绕输送系统(4)由安装在真空室(7)内的电动机(22)、电动机(22)驱动的滚筒(23)、打印载体(32)、及输送打印载体(32)的传送带(24)构成；气体原料供应系统(5)由含碳气体储气瓶(25)、含碳气体储气瓶(25)与金属容器真空室(7)联通的导气管(29)，及连接在导气管(29)上的调压阀(26)、流量计(27)、电磁阀(28)构成；工艺控制系统(6)由工艺参数与流程控制软件及装有显示器的微型计算机(30)构成。