[实用新型]一种具有自供电功能的微流控芯片

摘要

本实用新型公开一种具有自供电功能的微流控芯片，是利用压电一维纳米材料可采集环境中微小的机械能并将其转换为电能，并将该电势能输出供给敏感单元，从而组建成带自供电功能的微流控芯片。所述微流控芯片分为四层，最下面一层为石英玻璃基片，石英基片上有一层探测电极，所述探测电极上是一层KNN纳米纤维，最上层是带PDMS微通道的PDMS盖板。所述微流控芯片制作方法是：先在基片上通过光刻、溅射以及剥离工艺制作探测电极，再采用静电纺丝法在探测电极上大面积制备铌酸钾钠纳米纤维，然后将PDMS微通道与基片键合。

主权项

一种具有自供电功能的微流控芯片，其特征在于：包括自下而上依次分布的基片、探测电极、KNN纳米纤维和PDMS盖板；所述基片是石英玻璃板，所述探测电极是在所述基片上通过光刻、溅射及剥离工艺制作的导电电极；所述KNN纳米纤维是在探测电极上采用静电纺丝法大面积制备的铌酸钾钠纳米纤维；所述PDMS盖板下有PDMS微通道，所述PDMS微通道是通过在载波片上光刻制备微流通道母版、再利用PDMS预聚物和PDMS固化剂混合搅拌均匀后的混合物在微流通道母版上沉积、固化及分离工艺制成；所述PDMS微通道包括干流通道和支流通道，所述干流通道的首端有进气口及进气通道、末端有流体出口；所述支流通道有进液口及进液通道，支流通道的位置靠近干流通道的首端，且：支流通道与干流通道T型交汇，所述支流通道宽度小于干流通道宽度；所述基片上有十字对准标志，所述PDMS盖板上相应的也有十字对准标志；所述PDMS微通道的自T型交汇处之后至流体出口之间的干流通道部分，对应的位于KNN纳米纤维上，所述PDMS盖板通过十字对准标志，将PDMS微通道及KNN纳米纤维压紧并键合在基片的探测电极上。