[实用新型]一种高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置有效

专利信息
申请号: 201520380853.2 申请日: 2015-06-04
公开(公告)号: CN204643859U 公开(公告)日: 2015-09-16
发明(设计)人: 张建刚;陈学航;高文龙;冯永渝 申请(专利权)人: 贵州省产品质量监督检验院
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 贵阳东圣专利商标事务有限公司 52002 代理人: 兰艳文
地址: 550000 贵州省贵阳市白云区*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 实用新型公开了一种高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置,其特征在于:包括釜体(3)和法兰盖(1),釜体(3)内有托盘架(4),托盘架(4)上可置多个加热托盘(5),加热托盘(5)呈环带形,加热托盘(5)有四周折边(6)和中央折边(7),四周折边(6)和中央折边(7)上有通气缺口(8);四周折边(6)与釜体(3)内壁形成气体排出通道(11),中央折边(7)之间也组成中央气体排出道(12);法兰盖(1)顶部连接有出气管(2);法兰盖(1)通过连接螺栓(10)和垫圈(9)与釜体(3)连接。本实用新型采用分盘、静态的方式加热分解氟硅酸钠制备四氟化硅气体,具有装置结构简单、强度要求低,易制备高纯度四氟化硅气体的优点。
搜索关键词: 一种 高温 分解 硅酸钠 制备 氟化 装置
【主权项】:
一种高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置,其特征在于:包括釜体(3)和法兰盖(1),釜体(3)内有托盘架(4),托盘架(4)上可置多个加热托盘(5),加热托盘(5)呈环带形,加热托盘(5)有四周折边(6)和中央折边(7),四周折边(6)和中央折边(7)上有通气缺口(8);四周折边(6)与釜体(3)内壁形成气体排出通道(11),中央折边(7)之间也组成中央气体排出道(12);法兰盖(1)顶部连接有出气管(2)。
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