[实用新型]一种药水工艺站料片防卡滞导向装置有效
申请号: | 201520372484.2 | 申请日: | 2015-06-03 |
公开(公告)号: | CN204696084U | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 李超;孙一军;周毅锋 | 申请(专利权)人: | 苏州工业园区恒越自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215024 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种药水工艺站料片防卡滞导向装置,包括安装在工艺槽体内的料片防卡滞导向装置,工艺槽体内安装有药水工艺槽,药水工艺槽上设有钢带,药水工艺槽上在钢带前进方向的一侧固定有料片防卡滞装置,料片防卡滞装置由溢流导向主体、溢流导向管、导向固定柱底座和导向管固定柱组成,溢流导向主体倾斜安装在药水工艺槽上,所述溢流导向主体的下方设有导向固定柱底座,导向固定柱底座上固定有两个导向管固定柱,导向管固定柱上安装有溢流导向管,溢流导向主体在溢流导向管之间开设有导向槽。本实用新型可以避免了IC封装料片被吹风风管所吹出来的气流带动而产生左右摆动,使得整体工艺更加顺畅,生产效率、产品质量大大提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 药水 工艺 站料片防卡滞 导向 装置 | ||
【主权项】:
一种药水工艺站料片防卡滞导向装置,其特征在于:包括安装在工艺槽体内的料片防卡滞导向装置,所述工艺槽体内安装有药水工艺槽,所述药水工艺槽上设有钢带,所述钢带下方连接有IC封装料片,所述药水工艺槽上在钢带前进方向的一侧固定有料片防卡滞装置,所述料片防卡滞装置由溢流导向主体、溢流导向管、导向固定柱底座和导向管固定柱组成,所述溢流导向主体倾斜安装在药水工艺槽上,所述溢流导向主体的下方设有导向固定柱底座,所述导向固定柱底座上固定有两个导向管固定柱,所述导向管固定柱上安装有溢流导向管,所述溢流导向主体在溢流导向管之间开设有导向槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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