[实用新型]一种大面积纳米压印软模具复制装置有效
| 申请号： | 201520368786.2 | 申请日： | 2015-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN204640788U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 兰红波 | 申请（专利权）人： | 青岛博纳光电装备有限公司 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大面积纳米压印软模具复制装置，包括：工作台固定在底座之上；母模通过真空吸附固定在工作台之上；垫圈通过真空吸附固定在工作台之上，并嵌在母模的外围；液态模具图形层材料滴在母模之上；模具支撑层通过真空吸附固定在动板的下表面；限位模块置于动板之上；Z向位移台与动板相连接；导向柱固定在底座上，并穿过动板。本实用新型有益效果：实现了大尺寸晶圆级软模具低成本、高效、高精度和规模化的制造，为大面积纳米压印和整片晶圆纳米压印提供一种重要的支撑工具和技术。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 纳米 压印 模具 复制 装置 | ||
【主权项】：
一种大面积纳米压印软模具复制装置，其特征是，包括：底座、工作台、母模、垫圈、模具图形层、模具支撑层、动板、限位模块、Z向位移台、导向柱；其中工作台固定在底座之上；母模通过真空吸附固定在工作台之上；垫圈通过真空吸附固定在工作台之上，并嵌在母模的外围；液态模具图形层材料滴在母模之上；模具支撑层通过真空吸附固定在动板的下表面；限位模块置于动板之上；Z向位移台与动板相连接；导向柱固定在底座上，并穿过动板。
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