[实用新型]一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO2激光器

摘要

一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，本申请工作主体与气体单元输出电磁阀和储气罐二输出电磁阀相连，气体单元输出电磁阀与气体单元相连，气体单元与CO₂高压气瓶、He高压气瓶和N₂高压气瓶相连，储气罐二输出电磁阀接储气罐二，储气罐二接干燥冷却过滤器，干燥冷却过滤器接加热除氧器，加热除氧器接油水分离冷却过滤器，油水分离冷却过滤器接储气罐一，储气罐一接真空泵，真空泵接低压侧抽真空电磁阀和齿轮箱抽真空电磁阀，工作主体内低压侧热交换器与低压侧抽真空电磁阀相连，工作主体内齿轮箱与齿轮箱抽真空电磁阀相连。本实用新型对现有轴快流CO₂激光器配以相应的回收再利用装置，以实现对工作气体的回收再利用。

主权项

一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，包括CO₂高压气瓶（12）、He高压气瓶（13）、N₂高压气瓶（14）、气体单元（15）、轴快流CO₂激光器工作主体（20）、真空泵、储气罐一（22）、油水分离冷却过滤器（24）、加热除氧器（25）、干燥冷却过滤器（26）、储气罐二（28）和真空泵排空电磁阀（37），其特征在于：所述轴快流CO₂激光器工作主体（20）内高压侧热交换器（3）通过管道与气体单元输出电磁阀（16）和储气罐二输出电磁阀（34）相连，所述气体单元输出电磁阀（16）通过管道与气体单元（15）相连，所述气体单元（15）通过管道与CO₂高压气瓶减压阀（17）、He高压气瓶减压阀（18）和N₂高压气瓶减压阀（19）相连，所述CO₂高压气瓶减压阀（17）接CO₂高压气瓶（12），所述He高压气瓶减压阀（18）接He高压气瓶（13），所述N₂高压气瓶减压阀（19）接N₂高压气瓶（14），所述储气罐二输出电磁阀（34）接储气罐二（28），所述储气罐二（28）通过干燥冷却过滤器输出阀（33）接干燥冷却过滤器（26），所述干燥冷却过滤器（26）下方有干燥冷却过滤器进水口（41）和干燥冷却过滤器出水口（42），所述干燥冷却过滤器（26）通过干燥冷却过滤器输入阀（32）接加热除氧器（25），所述加热除氧器（25）通过加热除氧器输入阀（31）接油水分离冷却过滤器（24），所述油水分离冷却过滤器（24）下方有油水分离冷却过滤器进水口（39）和油水分离冷却过滤器出水口（40），所述油水分离冷却过滤器（24）通过油水分离冷却过滤器输入阀（30）接储气罐一（22），所述储气罐一（22）通过管道储气罐一输入电磁阀（29）接真空泵，所述储气罐一（22）与储气罐一输入电磁阀（29）相连管道一侧有真空泵排空电磁阀（37），所述真空泵通过管道接低压侧抽真空电磁阀（8）和齿轮箱抽真空电磁阀（7），所述轴快流CO₂激光器工作主体（20）内低压侧热交换器（5）通过管道与低压侧抽真空电磁阀（8）相连，所述轴快流CO₂激光器工作主体（20）内齿轮箱（11）通过管道与齿轮箱抽真空电磁阀（7）相连。