[实用新型]一种差分电容式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201520364822.8 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN204652659U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 郑国光 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种差分电容式MEMS麦克风，包括：线路板、第一MEMS芯片、以及第二MEMS芯片；第一MEMS芯片包括设置在线路板上的第一基底，设置在第一基底上的第一电容，包括位于上方的第一背极板、位于下方的第一振膜、以及设置在第一背极板和第一振膜之间的第一隔离层；第二MEMS芯片包括设置在线路板上的第二基底，设置在第二基底上的第二电容，包括位于下方的第二背极板、位于上方的第二振膜、以及设置在第二背极板和第二振膜之间的第二隔离层；第一电容和第二电容构成一对差分电容。本实用新型的差分电容式MEMS麦克风可以滤除外界的噪声信号，提高信噪比，提高麦克风产品的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 种差 电容 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种差分电容式MEMS麦克风，其特征在于，包括：线路板(4)、第一MEMS芯片(1)、以及第二MEMS芯片(2)；所述第一MEMS芯片(1)包括：设置在所述线路板(4)上的第一基底(11)，所述第一基底(11)设置有上下贯通的第一开孔(111)；设置在所述第一基底上(11)的第一电容，所述第一电容包括位于上方的第一背极板(14)、位于下方的与所述第一背极板(14)相对的第一振膜(12)、以及设置在所述第一背极板(14)和第一振膜(12)之间的第一隔离层(13)；所述第二MEMS芯片(2)包括：设置在所述线路板(4)上的第二基底(21)，所述第二基底(21)设置有上下贯通的第二开孔(211)；设置在所述第二基底(21)上的第二电容，所述第二电容包括位于下方的第二背极板(24)、位于上方的与所述第二背极板(24)相对的第二振膜(22)、以及设置在所述第二背极板(24)和第二振膜(22)之间的第二隔离层；所述第一电容和所述第二电容共同构成差分电容。
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