[实用新型]一种多通道激光诱导荧光芯片有效
| 申请号： | 201520364595.9 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN204649625U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 周小红;施汉昌;宋保栋;路密芳 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 11419 | 代理人： | 何自刚 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多通道激光诱导荧光芯片包括：半导体激光器、线产生器和光波导元件，其中，半导体激光器、线产生器和光波导元件顺序安装，光波导元件为长条形，光波导元件包括：上表面、下表面、头端面、尾端面和侧面，头端面设置在靠近线产生器端，头端面与光波导元件上表面之间的角度设置为15°～165°，上表面与下表面平行，上表面、下表面及头端面均经过抛光，且上表面、下表面及头端面粗糙度Rz小于1.6μm。本实用新型解决了传统多通道激光诱导传感芯片制作过程复杂、耦合效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 激光 诱导 荧光 芯片 | ||
【主权项】：
一种多通道激光诱导荧光芯片，其特征在于，包括：半导体激光器、线产生器和光波导元件，其中，所述半导体激光器、线产生器和玻璃片顺序安装，所述光波导元件为长条形光波导元件，所述光波导元件包括：上表面、下表面、头端面、尾端面和侧面，所述头端面设置在靠近线产生器端，所述头端面与所述光波导元件上表面之间的角度设置为15°～165°，所述上表面与所述下表面平行，所述上表面、下表面及头端面均经过抛光，且所述上表面、下表面及头端面粗糙度Rz小于1.6μm。
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