[实用新型]蚀刻喷洒装置有效

专利信息
申请号: 201520363155.1 申请日: 2015-05-29
公开(公告)号: CN204634169U 公开(公告)日: 2015-09-09
发明(设计)人: 张静;田园;姚益明 申请(专利权)人: 牧东光电(苏州)有限公司
主分类号: H05K3/06 分类号: H05K3/06
代理公司: 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 代理人: 章陆一
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种蚀刻喷洒装置,包括蚀刻槽,所述蚀刻槽的底部设置有传送滚轮,所述蚀刻槽的顶部设置有多根平行的喷管,所述多根喷管水平布置,每根所述喷管下方开设有至少一列平行于所述喷管轴线的喷孔。所述喷孔为腰圆孔,所述腰圆孔的长度方向平行于所述喷管的轴线。本实用新型将喷洒装置的喷嘴改为一列喷孔,药液的喷洒方式改变为瀑布式喷洒,减小了药液与空气的接触面积,不仅延长了药液的寿命,又很好地避免了过蚀现象的出现。
搜索关键词: 蚀刻 喷洒 装置
【主权项】:
一种蚀刻喷洒装置,包括蚀刻槽(3),其特征是:所述蚀刻槽(3)的底部设置有传送滚轮(2),所述蚀刻槽(3)的顶部设置有多根平行的喷管(4),所述多根喷管(4)水平布置,每根所述喷管(4)下方开设有至少一列平行于所述喷管(4)轴线的喷孔(5)。
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