[实用新型]一种磨片机太阳轮高度专用调整装置有效
申请号: | 201520354488.8 | 申请日: | 2015-05-28 |
公开(公告)号: | CN204673457U | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 张自安;裴保齐;周涛 | 申请(专利权)人: | 洛阳鸿泰半导体有限公司 |
主分类号: | B24B41/00 | 分类号: | B24B41/00 |
代理公司: | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人: | 陆君 |
地址: | 471000 河南省洛阳市高新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种磨片机太阳轮高度专用调整装置,涉及半导体硅片生产技术领域,由主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖构成,在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座,太阳轮基座上设有太阳轮;本实用新型实用性强,使用和维修起来比较方便,不但很好的调整了太阳轮的高度,而且减少了维修的时间,降低了维修成本,同时延长了太阳轮的使用寿命,进一步提高了企业的效益。 | ||
搜索关键词: | 一种 磨片机 太阳 高度 专用 调整 装置 | ||
【主权项】:
一种磨片机太阳轮高度专用调整装置,包括主轴、太阳轮、太阳轮基座、带槽端盖、固定端盖和防尘盖,主轴的顶部设有带槽端盖,带槽端盖上设有固定端盖,固定端盖上设有防尘盖,其特征是:在带槽端盖下方的主轴上设有太阳轮基座,太阳轮基座上设有太阳轮。
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