[实用新型]智能真空控制系统

摘要

本实用新型提供一种智能真空控制系统，包括：上位机、RS485控制板卡、RS232控制板卡、真空板阀控制器、放气阀控制器、真空规控制器、安装在相邻被控腔室之间的第1真空板阀、用于测量每个被控腔室的真空度的第1真空规、安装在被控腔室与该被控腔室的前级真空获取单元之间的第2真空板阀；其中，被控腔室的前级真空获取单元包括串接的分子泵、第2真空规、放气阀和机械泵RP。优点为：能够全面对被控腔室的真空度进行控制，具有控制全面和精度高的优点，解决了手动控制的问题。通过配置不间断电源，实现了紧急情况处理效果。还具有真空度控制稳定以及精确度高、布线简单以及成本低的优点。

主权项

一种智能真空控制系统，其特征在于，包括：上位机、RS485控制板卡、RS232控制板卡、真空板阀控制器GVC、放气阀控制器VVC、真空规控制器VGC、安装在相邻被控腔室之间的第1真空板阀GV、用于测量每个被控腔室的真空度的第1真空规VG、安装在被控腔室与该被控腔室的前级真空获取单元之间的第2真空板阀GV；其中，被控腔室的前级真空获取单元包括串接的分子泵TP、第2真空规VG、放气阀VV和机械泵RP；所述上位机分别与所述RS485控制板卡的一端和所述RS232控制板卡的一端连接；所述RS485控制板卡的另一端分别与所述真空板阀控制器GVC的一端、所述放气阀控制器VVC的一端、所述分子泵TP和所述机械泵RP连接；所述真空板阀控制器GVC的另一端分别与所述第1真空板阀GV和所述第2真空板阀GV连接；所述放气阀控制器VVC的另一端与所述放气阀VV连接；所述RS232控制板卡的另一端与所述真空规控制器VGC的一端连接；所述真空规控制器VGC的另一端分别与所述第1真空规VG和所述第2真空规VG连接。