[实用新型]桥架式无掩模数字激光印刷装置有效
申请号: | 201520350743.1 | 申请日: | 2015-05-27 |
公开(公告)号: | CN204790310U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 曲鲁杰;梅文辉;杜卫冲;宋素霜 | 申请(专利权)人: | 中山新诺科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人: | 邹常友 |
地址: | 528400 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提出一种桥架式无掩模数字激光印刷装置,主要系由主控计算机、光引擎和桥架式移动平台组成;所述主控计算机负责对桥架式移动平台的位移控制以及对光引擎的数字点阵图案数据输出,其对应设置有连接所述桥架式移动平台的第一驱动接口,连接所述光引擎的第二驱动接口;所述光引擎主要由DMD芯片、微反射镜阵列、激光或LED光源、光学成像系统组成;所述桥架式移动平台包括置物平面,该置物平面具有固定曝光板的锁固机构;横向支架,连接所述光引擎并带引该光引擎作水平横向位移;纵向支架,连接所述横向支架并带引该横向支架作水平纵向位移。本实用新型目的在于克服激光直写式曝光机产能低、系统适应性弱、非智能化控制等缺点。 | ||
搜索关键词: | 架式 无掩模 数字 激光 印刷 装置 | ||
【主权项】:
一种桥架式无掩模数字激光印刷装置,其特征在于:主要系由主控计算机、光引擎和桥架式移动平台组成;所述主控计算机负责对桥架式移动平台的位移控制以及对光引擎的数字点阵图案数据输出,其对应设置有连接所述桥架式移动平台的第一驱动接口,连接所述光引擎的第二驱动接口;所述光引擎主要由DMD芯片、微反射镜阵列、激光或LED光源、光学成像系统组成,所述光学成像系统由若干组成光路的光学镜片组成,所述DMD芯片连接所述第二驱动接口,驱动所述微反射镜阵列动作;所述桥架式移动平台包括一置物平面;一桥架,连接所述光引擎并带引该光引擎作水平横向位移;一纵向支架,该纵向支架具有固定曝光板的锁固机构,并带引该曝光板作水平纵向位移。
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