[实用新型]一种微孔衍射波前质量的测量装置

摘要

本实用新型是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置，是采用夏克-哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克-哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形状的精确测量，将微孔衍射波前形状与最佳参考球比较便可求得微孔衍射波前的偏差，只需要在标定装置的基础上直接加入聚焦物镜和微孔，便可实现微孔衍射波前质量的测量，操作简便，引入的系统误差较小且容易实现系统误差的高精度标定。其中微孔板引入的球差可通过聚焦物镜进行补偿，并且通过调整夏克-哈特曼波前传感器到微孔的距离便可实现不同数值孔径大小的衍射波前质量的快速高精度的测量。

主权项

一种微孔衍射波前质量的测量装置，用于测量微孔衍射波前的质量，其特征在于：所述装置包括依次设置的高精度平面波生成器(10)、聚焦物镜(30)、微孔板(50)、可变光阑(70)和夏克‑哈特曼波前传感器(80)，所述高精度平面波生成器(10)产生的高精度平面参考波前(20)经所述聚焦物镜(30)后在所述聚焦物镜(30)的焦平面上得到一个微小的艾里斑(40)，所述微孔板(50)设置于所述聚焦物镜(30)的焦平面，且所述微孔板(50)的微孔(503)位于所述聚焦物镜(30)的焦点处，所述艾里斑(40)在经所述微孔(503)衍射后产生一个近于理想的球面波(60)，所述球面波(60)经所述可变光阑(70)到达所述夏克‑哈特曼波前传感器(80)，被所述夏克‑哈特曼波前传感器(80)中的微透镜阵列(801)聚焦在探测器(802)上形成光斑阵列(803)，根据所述光斑阵列(803)的位置信息通过图像处理能够获得所述微孔板(50)衍射产生的所述球面波(60)波前的强度和相位信息。