[实用新型]一种制备功能薄膜的装置

摘要

一种制备功能薄膜的装置，包括圆筒外壳、封盖和底座，所述圆筒外壳、封盖和底座分别用螺丝连接在一起构成上气室和下气室，圆筒外壳的两个侧面安装有观察窗口，带有微放电孔的钼片电极、小陶瓷片和钼片电极自上而下依次叠接，通过大陶瓷片固定在圆筒外壳上，钼片电极通过导线接在射频电源上，所述底座的上部设有底板阳极上，底板阳极下部设有底板支撑架，上部设有基片，底板阳极通过导线与设置在圆筒外壳上的陶瓷管与高频电源连接，底座上安装有真空泵接口和排气口，封盖上开有进气口；本实用新型的优点是：它结构简单、操作方便、成膜速率高。

主权项

一种制备功能薄膜的装置，包括圆筒外壳（1）、封盖（6）和底座（10），其特征在于：所述圆筒外壳（1）、封盖（6）和底座（10）分别用螺丝连接在一起构成上气室（11）和下气室（12），圆筒外壳（1）的两个侧面安装有观察窗口（7），带有微放电孔（15）的钼片电极（2）、小陶瓷片（3）和钼片电极（4）自上而下依次叠接，通过大陶瓷片（5）固定在圆筒外壳（1）上，钼片电极（2）通过导线接在射频电源（17）上，所述底座（10）的上部设有底板阳极（9）上，底板阳极（9）下部设有底板支撑架（13），上部设有基片（8），底板阳极（9）通过导线与设置在圆筒外壳（1）上的陶瓷管（16）与高频电源（18）连接，底座（10）上安装有真空泵接口（19）和排气口（20），封盖（6）上开有进气口（14）。