[实用新型]一种PECVD尾气处理装置有效
| 申请号： | 201520322291.6 | 申请日： | 2015-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN204786450U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 王健;李子良;王占;刘钰;付向良 | 申请（专利权）人： | 晶澳光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括PECVD尾气进气管、与所述PECVD管的末端相连且底部设有检修口的燃烧筒、净化塔以及连接所述燃烧筒和所述净化塔的燃烧筒排气管，其特征在于：所述的PECVD尾气进气管上设有CDA吹扫旁通管；所述的检修口处设有粉尘清理收集装置。本实用新型的装置可简化PECVD尾气燃烧处理后，对燃烧筒的二氧化硅粉尘的清理过程，减轻对环境的污染及对人体的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种PECVD尾气处理装置，包括PECVD尾气进气管（1）、与所述PECVD管（1）的末端相连且底部设有检修口（5）的燃烧筒（2）、净化塔（4）以及连接所述燃烧筒（2）和所述净化塔（4）的燃烧筒排气管（3），其特征在于：所述的PECVD尾气进气管（1）上设有CDA吹扫旁通管（6）；所述的检修口（5）处设有粉尘清理收集装置。
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