[实用新型]一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置有效
| 申请号： | 201520316622.5 | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN204666315U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 宋怀双 | 申请（专利权）人： | 安徽皖仪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，包括有与低压检测工件的内部密封连接的真空管道，真空管道的另一端连接辅助真空泵，真空管道上依次设有三通、四通、手动挡板阀、抽空稳压阀，所述的三通、四通与真空管道的内部连通，三通的另一端设有真空计，四通的另两端分别设有手动放气阀、吸枪，吸枪的吸枪端口深入在四通的中部，吸枪与氦质谱检漏仪连接。本实用新型实现了低压工件的氦质谱泄漏检测，可操作性强，检测精度较高，系统实现成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低压 工件 氦质谱 泄漏 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：包括有与低压检测工件的内部密封连接的真空管道，真空管道的另一端连接辅助真空泵，真空管道上依次设有三通、四通、手动挡板阀、抽空稳压阀，所述的三通、四通与真空管道的内部连通，三通的另一端设有真空计，四通的另两端分别设有手动放气阀、吸枪，吸枪的吸枪端口深入在四通的中部，吸枪与氦质谱检漏仪连接。
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