[实用新型]一种PVD真空离子镀膜机有效
| 申请号： | 201520314087.X | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN204661820U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋 | 申请（专利权）人： | 东莞市瑞鼎纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 罗伟平;潘俊达 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于镀膜机技术领域，特别涉及一种PVD真空离子镀膜机，包括真空泵、镀膜箱体和转架，镀膜箱体设置有镀膜腔，真空泵与镀膜腔连通，转架设置于镀膜腔内，在对应转架位置的镀膜腔侧壁上设置有等离子体弧源。将需要镀膜的工具模具放置在转架上，开启真空泵使腔体达到真空镀膜状态，进而开启镀膜腔内的等离子体弧源工作，从而实现对转架上的工具模具进行镀膜；本实用新型的结构简单、镀膜效果理想、维护难度小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 真空 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
一种PVD真空离子镀膜机，其特征在于：包括真空泵、镀膜箱体和转架，所述镀膜箱体设置有镀膜腔，所述真空泵与所述镀膜腔连通，所述转架设置于所述镀膜腔内，在对应所述转架位置的所述镀膜腔侧壁上设置有等离子体弧源。
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