[实用新型]一种基板的气液密封检测装置

摘要

本实用新型涉及一种基板的气液密封检测装置，包括支架、固定在支架上的无底水池、位于无底水池正下方的升降台以及与升降台相连的驱动机构，升降台上搁置有基板，升降台的外侧设有固定基板的固定机构，基板上设有螺堵，基板通过所述升降台升降来控制与所述无底水池的下端密封接触或者分离；升降台上设有与螺堵相对应的出气口，该出气口与外界进气管连通，升降台上出气口的外侧设有压力传感器，无底水池的上方设有出水龙头，在出水龙头上设有控制阀，该控制阀和压力传感器之间通过控制器连接；本实用新型具有机构简单和可靠性强的优点。

主权项

一种基板的气液密封检测装置，包括支架、固定在支架上的无底水池、位于无底水池正下方的升降台以及与升降台相连的驱动机构，其特征在于，所述升降台上搁置有基板，升降台的外侧设有固定基板的固定机构，基板上设有螺堵，基板通过所述升降台升降来控制与所述无底水池的下端密封接触或者分离；所述升降台上设有与所述螺堵相对应的出气口，该出气口与外界进气管连通，所述升降台上出气口的外侧设有压力传感器，所述无底水池的上方设有出水龙头，在出水龙头上设有控制阀，该控制阀和所述压力传感器之间通过控制器连接；所述驱动机构包括设置在所述支架上的伸缩气缸，该伸缩气缸的活塞杆与所述升降台的底部固定连接；所述固定机构包括与所述升降台边缘连接的多个活动挡板，活动挡板与升降台的连接处设有扭簧。