[实用新型]制备太阳能电池的干湿氧气供应装置

摘要

本实用新型关于一种制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，包括一干、湿氧气供应控制单元、一蒸气加热控制单元与一保温输送单元；干、湿氧气供应控制单元分为干氧气供应控制部与湿氧气供应控制部，湿氧气供应控制部与蒸气加热控制单元连接，蒸气加热控制单元再连接保温输送单元，保温输送单元与干氧气供应控制部则和扩散炉管连接；当外接的氧气供应单元将氧气输入干、湿氧气供应控制单元后，进入干氧气供应控制部的氧气便会直接被送至扩散炉管，而进入湿氧气供应控制部的氧气则进入蒸气加热控制单元与水蒸气结合，再由保温输送单元输出至扩散炉管，期间并由保温输送单元进行保温，避免与氧气结合的水蒸气凝结成水。通过本装置输送干、湿氧气进入扩散炉管协作转换三氯氧化磷为磷的化学反应速率能够更为快速。

主权项

一种制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，其特征在于，包括一干、湿氧气供应控制单元、一蒸气加热控制单元与一保温输送单元；其中：所述干、湿氧气供应控制单元，分为干氧气供应控制部与湿氧气供应控制部，所述干氧气供应控制部与所述湿氧气供应控制部均是作为氧气供应流量与供应时机的控制，所述干氧气供应控制部和扩散炉管连接；所述蒸气加热控制单元，包括一加热器、一容器、一温度感应器与一加热控制器，所述湿氧气供应控制部与所述容器连接，以输入氧气到装有水的容器内，所述加热器与所述加热控制器耦合，所述温度感应器与所述加热控制器耦合，所述加热器对所述容器内的水加热以产生水蒸气与输入所述容器内的氧气结合，所述温度感应器设于所述容器，以检测所述容器内的水蒸气温度，所述温度感应器并将感应温度回传所述加热控制器，所述加热控制器根据所述回传的感应温度高于或低于一预设值控制所述加热器关闭加热或启动加热，所述容器具有湿氧气输出口；所述保温输送单元，沿着一输送管路设置一保温元件，所述保温元件与一外部加热控制器耦合，所述输送管路的两端分别衔接所述容器的湿氧气输出口与所述扩散炉管，所述外部加热控制器能控制所述保温元件的保温温度，使进入所述输送管路的结合氧气的水蒸气维持在气态状态。